Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ

電子デバイスの製造技術に関する資料を紹介します（著作権に注意！）。特に、半

導体デバイスの材料的な側面に興味ある方は一読してみてください。