Ｖａｃｕｕｍ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ

Ｖａｃｕｕｍ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ

さまざまな材料を開発し高性能なデバイスを製作する上で真空装置は不可欠にな

っています。真空装置に関する技術を学びたい方は次の資料を参考にしてみてく

ださい（著作権に注意！）。

Fundamentals of Vacuum Technology